德国新格拉斯科技集团(SINGULUS)是一家德国装备制造上市公司,位于法兰克福旁的卡尔市。公司主要从事各种真空沉积设备和表面处理设备,主要业务领域涵盖半导体、生命科学和新能源三个主要领域。在半导体领域,公司已有持续20多年的专注投入,SINGULUS 溅射机在多靶材、超高均匀性要求、精准控制薄膜厚度、磁性材料等方面拥有领先地位。受益于这些技术优势,SINGULUS 的设备也被用于自选电子学领域以外的应用。比如:光刻机部件镀膜,片上薄膜电感, RRAM,波导器件等特殊领域。
公司在半导体行业的主要引用领域拥有以下成就:
1.基于巨磁阻效应和隧道磁阻领域的各种传感器,如AMR, GMR, TMR. 在此领域市场占有率全球第一。
2. 新兴存储器件,MRAM, RRAM, FeRAM
MRAM 器件PVD 安装记录全球领先,是最早从事MRAM 的设备供应商之一;
3. 高端光学领域:是EUV 光刻机某光学器件的全球唯一供应商, 同时,SINGULUS PVD 机台被用在DUV。光刻机掩模版的镀膜。
4. 全球唯一的片上薄膜电感磁芯镀膜设备和技术提供商;用SINGULUS PVD 做的片上薄膜电感已经广泛用在了包括INTEL 和 APPLE CPU 大芯片上。